1、真空鍍膜過(guò)程中會(huì )使用油擴散泵進(jìn)行抽氣，其過(guò)程中需要用循環(huán)水冷卻系統進(jìn)行冷卻油蒸汽，為了防止返流的油蒸汽分子跑到鐘罩內造成污染，同時(shí)也為了防止由于忘記開(kāi)循環(huán)水冷卻系統而造成的麻煩，所以我們提早打開(kāi)。

2、真空泵在工作期間，油溫不可以超過(guò)75攝氏度，需要循環(huán)水冷卻系統對其降濕，否則會(huì )由于油的黏度過(guò)小而導致密封不嚴。

3、循環(huán)水系統必須恒溫，恒壓，恒流，從需保證真空腔及真空泵的溫度要求。